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苏州励索精密装备取得光刻机光学系统轴心对准精度量程设备专利实现动态监测不同平面轴心的差异

时间:2025-11-24 10:28:09

 

  金融界2025年8月6日消息,国家知识产权局信息显示,苏州励索精密装备科技有限公司取得一项名为“光刻机光学系统轴心对准精度的量程设备”的专利,授权公告号CN223193271U,申请日期为2024年10月。

  专利摘要显示,本实用新型涉及光刻机技术领域,尤其涉及一种光刻机光学系统轴心对准精度的量程设备。其包括用于配合照明系统顶部安装的可转动底座、均匀分布设置在所述可转动底座上用来测量轴心度的若干组测量组件以及设置在上可转动底座中心位置处且用来模拟均匀光系统光照轴的仿形轴管,所述仿形轴管为圆柱状,其上半部分圆柱形直径与均匀光系统的直径一致,下半部分圆柱形直径与照明系统的直径一致,且两者的轴心完全重合。

  天眼查资料显示,苏州励索精密装备科技有限公司,成立于2021年,位于苏州市,是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州励索精密装备科技有限公司专利信息17条,此外企业还拥有行政许可6个。

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